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장비 및 시설 기본정보
Plama 표면처리 시스템 초저압장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Eec |
| 모델명 | PFC |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-11-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Plasma M/C type CD 1800 - Vacuum chamber : Aluminium based container Designed to maximize the uniformity of gas flow Consists of 6 parts |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/2015013011718585.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 B동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-04-201751 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00792 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |