전기적특성 측정장치
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Keithley Instruments |
모델명 | 4200-SCS/F |
장비사양 | |
취득일자 | 2008-07-23 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C514 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | Wafer또는 완성된 디바이스 상태의 반도체에 5*V-200V범위 전압공급과 1.5fA * 1A범위의 전류공급이 가능하며10nV(10-8V) 정밀도의 전압측정과 100aA(10-18A)정밀도의 저 전류 측정 가능. 부가적인 기능으로 반도체의 특성 측정에 관련된 외부기기 즉, Probe Station, LCR 미터, Pulse Generator, 스위칭 시스템 등을 제어하는 기능이 있어 모든 반도체 소자 개발 및 분석이 가능한 장비임 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/20150115145714309.JPG |
장비위치주소 | 한국생산기술연구원 송도TP |
NFEC 등록번호 | NFEC-2015-01-196091 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00772 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |