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장비
장비 및 시설 기본정보
초미세고에너지접합시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fei |
| 모델명 | Inspect F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-12-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 - Laser Gun의 High Energy Source 초미세 접합장비 - 진공 Chamber 내의 Laser Gun 장착으로 공정진행과 진공 sample moving을 위한 sub chamber 장착으로 공정 및 E-Beam In-situ 관찰 동시 수행 - 미세접합(자동차 기밀접합 센서 및 모듈 제조 초정밀 초소형 접합제조 특수재료 접합 제조) 비접촉 정밀 진공 접합기술 구현 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201108/20110830141622.JPG |
| 장비위치주소 | 인천지역본부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-01-080704 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00461 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |