- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
엑시머 레이저 소결 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 레이저앤피직스 |
| 모델명 | Excimer Laser Annealing |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-03-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C530 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 과제명:다기능 세라믹 박막의 내장화 기술 주관기관명:한국과학기술연구원 연구책임자:강종윤 과제번호2M24190(50228) 특징 : KrF 레이저의 Gaussian beam profile을 flat profile로 변환하는 homogenizer 광학 시스템로서, 본 광학 시스템을 활용하여 일반적으로 500도 이상의 소결 온도를 갖는 세라믹 박막을 300도 이하의 저온에서 레이저 조사를 통해 결정화 가능한 소결 장비임. 또한 사이파어 등 300 nm 이하의 파장에서 광학 투과성을 갖는 기판위에 성장된 세라믹 박막의 전사 공정에도 활용 가능하여 세라믹 박막을 유연 기판 위에 구현할 수 있는 핵심 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110916171200.JPG |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-03-078556 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054703 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |