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장비 및 시설 기본정보
초고진공 증착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gvtc |
| 모델명 | GVUVS2600 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-10-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 EEWS대학원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Ultra High Vaccum (UHV) Sputter system은 6개의 타겟의 장착이 가능한 박막 증착 장비로서, 초고진공에서 높은 순도 및 결정성을 갖는 원자 두께의 박막을 6개의 서로 다른 금속을 이용하여 동시에 증착이 가능한 장비임 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201407/20140704174459115.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 W8-1/중앙분석센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-07-189925 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KAIST EEWS-00008 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |