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장비

전기도금장비

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보유기관명	대구경북과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C525
표준분류명
시설장비 설명	- 4인치 또는 6인치 실리콘기판에 증착된 seed에 배선(Line) 및 bump, Via hole, Ni-Fe(자성체)로 electro plating하여 wafer상에 패턴 및 구조물을 전해도금공정을 거쳐 나노패턴, 구조물 등을 웨이퍼 상에 도금할 수 있음. - 본 장비는 세미오토방식의 전기도금장비로서 Au, Ni, Ni-Fe 박막을 도금증착할 수 있는 독립적인 3개 cell로 구성되어있음 - Au cell은 Cup type, Ni, Ni-Fe cell은 rotate type으로 구성되어있음 - 도금액 over flow와 동시에 웨이퍼를 자전시켜서 도금막의 품질을 개선시킬 수 있는 기능이 있음
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201408/2014081822051679.jpg
장비위치주소	대구경북과학기술원 중앙기기센터
NFEC 등록번호	NFEC-2014-10-191914
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0045410
첨부파일