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스플리트 스테이지 온더플라이 정밀 위치 제어 시스템

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C501
표준분류명
시설장비 설명	위 물품은 슬플리트 타입의 XY 스테이지의 스택업 방식이 아닌 독립적인 스테이지 구성으로 아래쪽에는 Y축 스테이지 석장반 고정에는 X축 스테이지가 위치한다. 또한 광학 스캐너 사용이 고속의 대면적 가공이 가능한 온더 플라이 기능이 탑제 되어 정밀도가 보증 되며 고속 위치제어가 가능하다. 구성으로써는 위치제어를 하는 컴퓨터 스테이지 드라이버, 위치 기반 측정 소프트웨어 제어 소프트웨어로 구성 합니다. 통신 규격으로는 XY2-100 통신 규격을 사용하며, 또한 외부 IO 기능이 있어 외부 기기와 연동이 가능합니다.. (예, 레이저, 셔터, 빔 덤프 등) 기존의 스택업 방식의 무게를 스테이지를 분리 함으로서 고속 고정밀이 가능 합니다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201410/2014101514729428.jpg
장비위치주소	광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2014-10-192231
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0045508
첨부파일