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복합 PACVD 장치

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보유기관명	한국생산기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C507
표준분류명
시설장비 설명	실용적 D600×H900(capacity), 500Kg(Load) 의 용적으로 가스인입라인(가열) 를 포 함한 진공용기와 각동 진공포트, 밸브, 게이트 밸브, 배기 라인 등으로 구성 되 며, 진공 배기 장치로서 저진공용 R/P, B/P를 구성하고 고진공용 D/P를 구 성하 여 공정시 요구되는 진공도를 만족시킬 수 있는 시스템으로 구성으로 기타 부수적 인 배기 라인을 포함하고, 일정한 진공 및 가스유량을 유지하기 위한 진공 유지계 를 포함한다. 이 장치를 이용하여 유기전구체를 이용한 코팅층의 합성과 플 라즈 마를 이용한 PECVD법을 병행한다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/20150115143330817.jpg
장비위치주소	한국생산기술연구원 송도TP
NFEC 등록번호	NFEC-2015-01-195855
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048313
첨부파일