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소형 ECR 이온 빔 식각장치

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보유기관명	한국과학기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C510
표준분류명
시설장비 설명	장비명: 나노 소자 제작을 위한 범용 물리적 식각 장치 [특징] 이 장치는 전자 싸이클론 공명 현상을 이용하여 이온을 발생시키는 ECR 이온소스와 전원장치 샘플 스테이지 이온 빔 전류 측정장치 가스 유량 제어기 진공 시스템을 포함한 식각 장치이다. 이 장비에서는 필라멘트 없이 이온 빔을 발생시킬 수 있기 때문에 Ar외의 여러 가지 기체를 사용할 수 있으며 지름 약 20 mm의 균일한 식각 영역을 지닌다. 이온 빔을 발생시키기 위해서 2.45 GHZ의 마이크로파와 875 가우스의 자기장이 이용된다. 샘플 스테이지는 샘플을 축방향으로 계속 회전시킬 수 있을 뿐만아니라 입사 이온 빔에 대해 경사각을 줄 수 있어서 최적의 식각 프로파일을 얻을 수 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110112083305.jpg
장비위치주소	한국과학기술연구원 청정연구동(L6)
NFEC 등록번호	NFEC-2010-11-132444
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0018367
첨부파일