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장비
장비 및 시설 기본정보
반사분광 막두께 측정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Otsuka Electronics |
| 모델명 | FE-3000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-06-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 이 장비는 반도체 태양전지 FPD 광학필름등의 다층박막의 두께를 UV와VIS영역의 미세 반사 스팩트럼을 이용하여 비접촉 비파괴방식으로 측정 해석한다. 측정가능 필름층의 수: Up to 5 layers on Substrate max |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201012/20101229141456.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-130902 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0020892 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |