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장비
장비 및 시설 기본정보
고출력 펄스 엑시머 레이저 발생장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Coherent |
| 모델명 | COMPexPro 205F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-04-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C530 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Pulsed KrF excimer laser generator PLD 시스템 및 레이저 어닐 시스템과 함께 구성되어 있는 레이저 발생장치 각 시스템과는 각종 mirror를 이용하여 레이저의 발진 방향을 조정하여 연계하였고 한 번에 한가지 시스템과 연계하여 사용가능 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201204/20120417171924.JPG |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 금호연구관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-04-162086 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0032850 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |