반도체특성분석시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Keithley Instruments |
모델명 | 4200-SCS/F |
장비사양 | |
취득일자 | 2012-04-06 |
취득금액 |
보유기관명 | 광주과학기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C514 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 상기 물품은 반도체의 웨이퍼 상태 및 디바이스 상태에서의 전기적 물성 및 특성 측정(I-V 측정)을 하는 고정밀급 반도체용 측정장비로서 반도체의 동작 전압측정 동작 전류측정 누설전류 측정 브레이크 다운 전압측정 전도도 및 저항측정 디바이스 수명예측 Hot Carrier Test 등 다양한 반도체 특성 분석을 위한 파라미터들을 측정할 수 있다. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201404/201404259504797.jpg |
장비위치주소 | 광주과학기술원 신소재공학동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2012-04-165627 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0032910 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |