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플라즈마를 이용한 그래핀 성장 공정장치

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C507
표준분류명
시설장비 설명	촉매금속 표면에 그래핀을 성장시킬 때 필요한 플라즈마 화학기상 증착장비 플라즈마를 사용시 기존의 열적 그래핀 성장 공정보다 낮은 온도에서 고 성능의 그래핀을 성장 할 수 있음
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201404/20140424171050838.jpg
장비위치주소	광주과학기술원 금호관
NFEC 등록번호	NFEC-2012-06-165422
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0033429
첨부파일