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장비
장비 및 시설 기본정보
고성능 절연막 식각기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)티티엘 |
| 모델명 | FabStar |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-04-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 절연막 또는 절연체의 수백 Å~수십 um 선택적 정밀식각 용도로 최종적으로 반도체소자 MEMS센서 Bio device 구동소자등의 제작에 사용 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201207/20120731161930.jpg |
| 장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-07-168122 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0034434 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |