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장비 및 시설 기본정보
멀티 건 스퍼터 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 다다코리아 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-09-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 스퍼터링 시스템은 연구, 산업 분야 쪽에서 가릴 것 없이 박막 증착에 있어서는 널리 사용되는 장비로써, 고밀도의 막질을 가지는 다양한 산화물 및 금속 박막 증착이 가능한, 물리적 기상 증착법의 하나인 스퍼터 공정을 위한 시스템임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201509/2015092418513448.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 신소재공학부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-09-205095 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0058677 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |