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장비
장비 및 시설 기본정보
전계방출형 주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Jeol |
| 모델명 | JSM-7100F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-11-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 전계 방사 주사형 전자현미경(FE-SEM)은 일반 광학 현미경으로는 관측이 어려운 물질의 미세영역을 고분해, 고배율(최대배율 10배에서 100만배까지)로 확대 하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다. - 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료 표면의 관찰영역을 주사하고 이 때 시료 표면에서 발생되는 여러 전자형태를 각종 검출기로 감지하여, 브라운관의 밝기 로 변조시켜, 시료의 표면 형태 및 조성에 대한 각각의 영상을 얻어 출력할 수 있다. 전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계, 시료실, 각종 검출기, 조작 테이블, 관찰 CRT 및 출력 장치 등 여러 부품으로 이루어져 있다. - EDS 및 EBSD 부속분석장비의 연동이가능한 장비 이며, 시편챔버는 시편크기 폭150mm, 높이40mm의 시편의 분석이 가능함. 또한 시편교환시 Airlock기능이 있는 이중구조 챔버로 되어있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201511/2015111814451585.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-11-206085 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059291 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |