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장비

전자빔 증발 시스템

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보유기관명	한국과학기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C504
표준분류명
시설장비 설명	배기 Pump를 이용하여 Chamber를 진공상태로 만들어 Chamber 내부 도가니에 설치 된 물질 (금속 or 산화물)을 E-beam으로 조사하여 기화 된 물질이 상부에 설치 되어 있는Dome에 장착 되어 있는 기판에 증착 되는 원리.배기 Pump를 이용하여 Chamber를 진공상태로 만들어 Chamber 내부 도가니에 설치 된 물질 (금속 or 산화물)을 E-beam으로 조사하여 기화 된 물질이 상부에 설치 되어 있는Dome에 장착 되어 있는 기판에 증착 되는 원리.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201601/2016012010227946.jpg
장비위치주소	한국과학기술연구원 청정연구동(L6)
NFEC 등록번호	NFEC-2016-01-207305
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0060671
첨부파일