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장비 및 시설 기본정보
4중극자 질량에너지 분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Hiden Analytical |
| 모델명 | HPR-30 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-12-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 국가핵융합연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B401 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 반도체 소자 제조 관련 플라즈마 공정에 대한 공정 해석 및 물성 연구를 수행하기 위해 플라즈마에서 생성되는 이온 종 및 라디칼 종에 대한 질량과 에너지를 동시에 측정할 수 있는 장비로서 플라즈마 내의 입자 및 표면간 반응 메커니즘에 대한 물성연구에 필요한 기반 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201602/2016020314224239.JPG |
| 장비위치주소 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-01-207223 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059768 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |