- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
마스크 어라이너
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스시스템 |
| 모델명 | MDA-4000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-05-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 전자빔을 이용하여 나노크기의 패턴을 정의하고 관측할 수 있는 시스템으로 전자파 소자 나노소자 고집적소자 및 MEMS 의 응용에 사용되는 기술장비입니다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201102/20110215203053.jpg |
| 장비위치주소 | 한국화학연구원 3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-02-141735 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KRICT_PA-00267 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |