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장비
장비 및 시설 기본정보
인라인스퍼터 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Int Tech Co., Ltd. |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-01-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 기판을 장착한 후 진공펌프를 통해 진공상태를 유지하여 스퍼터링법으로 박막을 증착하며 연속공정이 가능한 대면적 박막 증착용 인라인 스퍼터입니다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201103/20110309191645.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L3) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-03-145126 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0028967 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |