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샥-하트만 파면측정장치

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명	ZEUS
장비번호
제작사	(주)삼중광산업
모델명	INS-C2D-003 complete CLAS-2D-Analog system
장비사양
취득일자	2004-06-03
취득금액

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국표준과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F0
표준분류명
시설장비 설명	세부과제명:나노광계측 표준확립 및 유지향상 과제책임자 :이윤우 본 연구실에서 수행중인 "나노광계측 표준 확립 및 유지"연구를 위하여 금년중에 직경 910 mm 인 비구면 미러를 가공해야 한다. CLAS-2D system은 lens array와 CCD detector로 구성되어 있으며, 가공 중간단계에서 미러면의 상태를 정확히 측정하여 가공 정밀도를 높이고 가공 시간을 단축하기 위하여 사용된다. 성능 공간 분해능 44X33 측정 범위 +/- 27.57 um 측정 분해능 12.6 nm 공간 분해능은 일반 간섭계에 비해 떨어지나, 진동 및 공기의 움직임이 심한 장소에서도 미러의 형상을 정밀 측정할 수 있으며, 간섭계와 달리 추가적인 광학 장비 없이 비구면 미러를 측정할 수 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201104/20110413141627.JPG
장비위치주소	한국표준과학연구원 응용물리동
NFEC 등록번호	NFEC-2011-04-145843
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050358
첨부파일