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장비 및 시설 기본정보
플라즈마 식각기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크(Korea Vacuum Tech) |
| 모델명 | KVE-T2008 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | * 특징 1. 진공중에서 플라즈마를 이용한 시편 식각 장비 2. 식각시편크기 : 조각시편부터 4인치 3. 시편냉각온도 및 균일도 : ± 1℃ 이내 4. 시편식각균일도 : ± 5% 이내 5. 최대진공도달능력 : 5 x 10E-3 torr 6. 장비제어방식 : PLC 반자동 7. 장비안전 : 진공,냉각수,압축공기 및 공정가스와 시스템 간 안전 연동 방식 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201105/20110509114121.JPG |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-05-145498 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0047606 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |