| 보유기관명 |
대구경북과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C209 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
- 패럴린 코팅은 진공 중에서 코팅하고자 하는 제품에 고분자 형태로 진공 증착시키는 화학 증착(Chemical Vapor Deposition : CVD)법을 의미함. - 패럴린 시스템은 증발기(Vaporizer) 열분해기(Pyrolysis) 증착 챔버(Deposition Chamber)의 3가지 부분으로 구성되며 다이머(Dimer)는 증발기에 분말형태로 삽입되어 약80-180？C에서 가스상으로 증발되고 이량체 구조의 원료는 약650 ~ 700C 정도로 가열된 열분해기를 통하여 단량체로 변환됨. - 단량체로 변환된 다이머가 증착챔버 내에서 처리물 표면에 기상형태로 코팅이 이루어지면서 코팅막이 형성되는 진공 증착 장비임. |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201309/20130924174024438.jpg |
| 장비위치주소 |
대구경북과학기술원 중앙기기센터 205 소자클린룸 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-09-182963 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0041035 |
| 첨부파일 |
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