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장비 및 시설 기본정보
리모트 플라즈마 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 유비텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-09-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C509 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 다양한 플라즈마 공정 실현을 위한 리모트 (remote) 형 플라즈마 발생장치. 시편의 Damage를 최소화하며 ashing oxidation etching 등의 다목적 공정이 가능한 장치 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131021134330940.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구3동 202호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-10-183515 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIMM-00006 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |