X선 회절분석기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Panalytical |
모델명 | XPert PRO MPD |
장비사양 | |
취득일자 | 2009-03-12 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | B520 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 특징 - X-선과 물질의 상호작용 중 회절, 반사 및 산란측정을 통해 물질의 구조분석 - 결정구조에 대한 정성 및 정량적 해석 - 반사측정을 통해 단/다층 박막의 밀도, 거칠기 및 두께 분석 구성및성능 X-ray generator : 3KW, Special LFF Cu anode, High resolution Goniometer : Vertical type, Hybrid( Mirror + Ge(220) 2-bounce ), Flat Sample Stage ( Maximum smple mass : 50g) Multi-Purpose Sample Stage, Open Eulerian Cradle ( 2θ, Omega, Psi, Phi, X, Y, Z), X-Ray Mirror 활용분야 - 고분해능 X-선 회절에 의한 반도체 및 산화물 박막에 대한 구조특성 측정 및 해석 - X-선 반사를 이용한 박막의 두께, 거칠기 및 밀도 측정 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201402/20140213153720280.jpg |
장비위치주소 | 한국기초과학지원연구원 강릉센터 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2009-07-071508 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048488 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |