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장비 및 시설 기본정보
레이저 열처리 챔버
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엔씨디 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-11-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 레이저를 이용한 대면적 그래핀 형성 실험을 위해 진공상에서 기판의 온도와 열처리 가스 분위기를 조절하면 레이저 열처리를 수행하는 chamber임. 시편상의 다양한 위치를 레이저로 열처리할 수 있도록 시편을 올려두는 chuck의 위치는 레이저 빔의 센터를 중심으로 50mmx50mm영역을 움직일 수 있고 시편의 가열 냉각속도도 중요한 실험의 변수가 되므로 규격에 맞도록 제작됨. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/200912/20091201112546.JPG |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 금호연구관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-12-078063 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0015150 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |