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장비
장비 및 시설 기본정보
확산로
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 디엠에스 |
| 모델명 | DTDF-01 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-07-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 태양전지 제조용 불순물(dopant) 확산 장비로서, 버블러를 통해 미세화 된 POCl3 용액을 Quartz tube 안으로 주입시켜 Si 기판에 P2O5 막을 형성시키고 동시에 고온 열처리를 통해 인을 Si 내부로 확산시켜 p-n 접합을 형성하는 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201502/2015020211391495.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 고층고실험동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-01-078025 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048934 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |