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장비
장비 및 시설 기본정보
의료용 대면적 spin coater 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스시스템 |
| 모델명 | SPIN-5000A |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-12-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | UV(자외선)사진 식각 공정시 실리콘 Wafer 또는 유리기판 상에 미세패턴 형성을 위하여 감광액을 spin 방식으로 사용하는 감광성 도포 장치에 적용됨. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201203/20120328114049.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전기연구원 안산분원 제1연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-158918 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0032039 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |