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장비
장비 및 시설 기본정보
슈퍼투과전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fei |
| 모델명 | TITAN 80-300 FP 5701/30 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-12-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 특성분석센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A205 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 Super TEM은 TEM의 기능을 뛰어 넘는 공간분해능과 점분해능을 갖추고 있어 그동안 차세대 반도체 분석 난제로 여겨지던 나노 영역의 조성 응역 두께 화학적 결합 등에 대한 분석 및 해석 가능 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201506/20150610151947421.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L5) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-01-078146 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST AAC-00007 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |