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장비
장비 및 시설 기본정보
장비 내 실시간 CCD를 사용하는 엔드포인트 검출 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 쎄미시스코 |
| 모델명 | EPD-2U |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-12-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 EPD 시스템은 반도체 공정의 품질 향상을 위해 진공 장비 내에 설치하여 실시간으로 공정 상황을 관찰 할 수 있는 시스템이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131010112620573.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 다산빌딩 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-05-079409 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0017715 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |