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장비 및 시설 기본정보
마그네트론 스퍼터링 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | MST5000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-12-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 마이크로 또는 나노소자에서 금속 전극 또는 반응 금속 및 Al2O3 TiO2 등의 산화물 증착을 주 용도로 한다. 금속전극은 저항변화 소자에서 사용되며 Pt TiN W등의 금속 증착이 요구 되며 반응 금속으로는 반응성이 큰 Al Sm Ti등이 이용된다. 또한 4inch wafer에서 저항변화 소자의 Active layer로 사용되는 HfO2 TiO2등의 산화물의 증착을 위해 사용되며 Load-lock chamber로 인해 공정 시간이 절약되는 이점이 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201404/20140424173556971.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 금호관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-05-079410 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0017714 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |