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장비
장비 및 시설 기본정보
레이저 박막증착 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Pascal |
| 모델명 | PAC-LMBE |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-11-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 강한 UV 레이저를 타겟 시료에 조사하면 기체상태의 플룸이 형성되고 이를 인접한 기판으로 보내면 매우 균일한 박막을 얻을 수 있는데 이를 레이저 증착 기술이라고 함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201105/20110513162225.JPG |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 계측기기동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-07-080834 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0018733 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |