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장비
장비 및 시설 기본정보
포토레지스트노광기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스시스템 |
| 모델명 | MDA-60MS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-12-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 장비위치에 맞게 마스크를 내려놓고 기판과 맞게 좌우상하(Wafer Stage : X Y Z and Theta 4 Axis motion (Motorized Z & Theta Axis) 정렬을 한후에 회로의 패턴을 찍어서 노광하는 장비임. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131008104320534.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 신재생에너지연구소 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-12-151941 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0030694 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |