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장비
장비 및 시설 기본정보
반자동 프로브 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cascade Microtech |
| 모델명 | Summit 12000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-02-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | TFT등 반도체나 디스플레이용 전자소자를 측정할 수 있는 프로브 스테이션으로 저누설 전류를 가지는 것이 특징이며 thermal chuck이 구성되어 있어 온도를 가변하며 측정이 가능함. 또한 반자동 기능이 있어 반복적인 패턴에 대한 측정이 가능함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201306/201306020201454.png |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-06-179497 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-ETRI-00052 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |