이온빔 조사후공정용 고진공 급속열처리장치
기관명 | ZEUS |
---|---|
장비번호 | |
제작사 | (주)넥스트론 |
모델명 | Wave-Guide RTP 1500 |
장비사양 | |
취득일자 | 2015-10-05 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국원자력연구원 |
---|---|
보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C527 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 이온빔을 활용한 연구 진행에 필요한 장비로서, 이온빔을 조사한 시료 또는 추가적인 열처리가 필요한 시료 등에 대해 진공 또는 질소 등의 기체분위기에서 고온 급속열처리(rapid thermal annealing)를 가능하게 해주는 장비이다. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201510/20151016104146562.jpg |
장비위치주소 | 한국원자력연구원 양성자가속기연구센터 빔이용 연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2015-10-205484 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0058880 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |