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장비 및 시설 기본정보
플라즈마 진공챔버모듈
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크(Korea Vacuum Tech) |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-09-25 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - CZTS 태양전지 흡수층을 형성하기 위해서 Cu, Zn, Sn 타겟을 활용하여 박막 증착 - 황화 화합물 및 셀렌 화합물 단일 박막 증착 뿐만 아니라, 순수 금속 증착 가능 - 그외 일반적인 소자 제작 및 전극을 위한 박막 형성 공정용 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201510/20151023165825868.png |
| 장비위치주소 | 디지스트 R3 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-10-205632 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0061809 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |