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장비
장비 및 시설 기본정보
비접촉 좌표 측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Nikon |
| 모델명 | NEXIV VMR-H3030 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-12-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 미세한 크기를 갖는 구조물 치수 및 형상측정 - 패턴간 거리 및 좌표값 측정 - 레이저 자동초점 기능을 이용한 3차원 형상측정 - 개구면의 정밀한 면적측정이 필요한 광도 및 전자파임피던스 표준지원 - 반도체/디스플레이 산업분야의 교정 수요대응 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201512/20151222132732287.jpg |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 201 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-12-206717 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059615 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |