| 시설장비 설명 |
1) Cryogenically cooled source tip에 가속 전압을 걸어주면 헬륨가스가 반응하여 tip 말단 nm 영역에서 ion이 발생된다. 이를 추출하여 이온빔을 만들고 집속하여 샘플에 주사하면 샘플과 산란하게 되어 이차전자가 발생한다. 이를 검출하여 시료 표면의 나노 형상과 구조를 관찰할 수 있는 장비이다. 2) This is the latest helium ion microscope ？ focused ion beam instrument (HIM-FIB). 3) Built upon the advancement in the class-leading gas field ion source (GFIS) technology. 4) This instrument provides a sub-nanometer imaging solution. 5) Helium ion beam을 사용하여, 일반 SEM 보다 해상력이 뛰어나기 때문에 고배율에서도 깨끗한 영상을 얻을 수 있다. 6) Helium ion beam을 사용하여 electron에 의한 charge up 현상이 없어 비전도성 시료를 관찰할 수 있다. 비전도성 시료를 고분해능으로 관찰할 수 있어 시료를 전도성 물질로 코팅하지 않고 표면을 관찰할 수 있다. 7) Turbo pump를 사용하여 빠르고 깨끗한 진공을 잡을 수 있다.. |
