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장비
장비 및 시설 기본정보
다기능성 소재 제조용 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크(Korea Vacuum Tech) |
| 모델명 | KVS-4004L |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-09-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 촉매 및 수소 분리막 물질을 고진공내에서 물리적으로 진공 증착시키는 장비 - 플라즈마 전원장치로 직류 및 교류로 개별 또는 동시에 증착 가능 함 - 고온 증착으로 열처리 공정 생략 가능 함 - 금속 및 비금속 물질의 박막 증착 가능 함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201111/20111118093234.JPG |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-11-150556 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0056325 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |