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장비
장비 및 시설 기본정보
레이져인터페로메터형 평탄도 측정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Zygo Corporation |
| 모델명 | VERIFIRE PE |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-09-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 기준광과 측정광의 간섭무늬를 이용하여 형상을 측정광위상간섭법: 3차원 표면 형상을 나노미터 수준의 고정도 수직분해능으로 측정가능레이져 노출 시간을 지극히 짧게 제어하여 간섭계 측정기기에서 중요한 반복성(Repeatability)을 확보 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110901105731.jpg |
| 장비위치주소 | 부산테크노파크 디지털생산기술혁신센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-081361 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00492 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |