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장비
장비 및 시설 기본정보
직류/교류 마그네트론 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | RSP5004 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-09-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 그래핀 실험시 필요한 다양한 유전체 금속 박막 (Si Ge Ni W Al C HfO2 SiGeC SiGe)을 순도높게 형성하기위해 필수적인 장비로서 간단한 박막 조성 및 관련 alloy 박막을 제작하기위해 고진공에서 DC 또는 RF sputtering이 가능한 장비. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201308/20130809134445616.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 신소재공학동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-12-078064 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0015149 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |