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장비 및 시설 기본정보
전구체 합성 및 성분분석용 하이브리드 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 알파플러스 |
| 모델명 | ALPS CS series |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-04-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 - Hybrid sputtering 법을 이용한 CIG 전구체 형성 장치 - 3개의 DC power 및 1개의 RF power로 구성되어 있음. - 필요시 Se effusion cell 을 추가 장착 가능하여 하이브리드 공정 구현 가능 - Intrinsic ZnO 스퍼터 증착전용 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201108/20110823135356.JPG |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제3연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-01-078010 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0049013 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |