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면저항측정기

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보유기관명	한국전자통신연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	D100
표준분류명
시설장비 설명	Features - Wafer 면저항 측정 - Model : SR-5000 _ Maker : 창민(㈜ Application - 박막의 면저항 측정장비로서 단위는 ohm/sq로 표시됨. - 여기서 Sq는 ㅁ로도 표시되며 미터법(cm2 등)이 아닌 별도의 단위로서무한대의 면적으로 해석하는 것이 일반적이며 선저항은 두개의 probe로 임의의 거리에 대한 저항을 측정하지만 표면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개탐침으로 측정하게 됨. 이때 쓰이는 Probe가 Four point probe이고 일반적으로 탐침은 1mm간격으로 일렬구성된 probe를 사용하며 4개의 탐침으로 전류와 전압을 측정하여 저항값을 구한 후 표면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용한다. - 표면저항값은 Wafer LCD 태양전지 연료전지 OLED 등의 벌크 및 박막의 전도성을 검사하기 위하여 쓰입니다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110119153514.JPG
장비위치주소	한국전자통신연구원 4동
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-134858
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-ETRI-00070
첨부파일