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장비
장비 및 시설 기본정보
스퍼터 시스템 업그레이드
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cliotekm |
| 모델명 | AMS-0203 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-10-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 electrode의 구조를 새롭게 디자인해서 생성된 플라즈마가 샘플에 도달하지 않도록 설계함으로써 샘플에 플라즈마 데미지를 최소화할 수 있다. 또한 저온에서 공정이 타 장비에 비해 유리하고 박막의 손상을 줄일 수 있으며 플라스틱 기판 위에 산화물 반도체를 성장하는데 사용하기 적합하다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/2013101017519459.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 정보통신 A동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-134418 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0022469 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |