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장비
장비 및 시설 기본정보
터보분자펌프
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 큐빅테크 |
| 모델명 | #V2000HT |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1999-04-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 초고진공을 발생시킬 수 있는 진공펌프로 건식펌프이므로 오일의 유입이 없는 장점이 있으며 통상 20000-30000 rpm의 초고속 터빈을 회전시켜 초고진공을 발생시키는 범용 펌프이나 현재 MBE 장비에 장착되어 있으므로 독립적인 사용을 불가함.10-9 Torr 이상의 초고진공을 발생시킬 수 있으나 10-3 Torr 정도를 발생시킬 수 있는 전단 펌프와 함께 사용하여야 함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110125145607.JPG |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 신소재동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-142860 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0023926 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |