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장비 및 시설 기본정보
Dual-Power 플라즈마 점착제어시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 유비텍 |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-10-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 플렉서블 기판의 표면 점착력을 높이기 위한 플라즈마 공정을 목적으로한다. 본 장비는 2개(dual)의 전원을 결합한 플라즈마 공정을 실현하여 기판 표면에너지를 제어하여 표면에너지를 향상시킬 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201602/2016022411632205.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 연구 3동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-02-207915 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059785 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |