|  보유기관명 | 
					한국생산기술연구원 | 
				
				
					|  보유기관코드 | 
					 | 
				
				
					|  활용범위 | 
					 | 
				
				
					|  활용상태 | 
					 | 
				
				
					|  표준코드 | 
					C215 | 
				
				
					|  표준분류명 | 
					 | 
				
				
					|  시설장비 설명 | 
					유효처리면적 직경/높이 : 400/600mm 최대처리온도 : 650 degree 최대적재중량 : 190kg MICROPULS 플라즈마발생장치 출력 : 25kW 최대 펄스전압 : 1000V 최대 펄스전류 : 60A 최대 펄스전력 : 60kW 조절가능 펄스지속시간 : 4-1000us 조절가능 펄스정지시간 : 10-1000us 최대 펄스주파수 : 50kHz 공급가스 알곤 질소 수소 메탄 황화수소 | 
				
				
					|  장비이미지코드 | 
					http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201411/201411041540700.JPG | 
				
				
					|  장비위치주소 | 
					한국생산기술연구원 첨단하이브리드생산기술센터 | 
				
				
					|  NFEC 등록번호 | 
					NFEC-2014-11-192870 | 
				
				
					|  예약방법 | 
					 | 
				
				
				
					| 카타로그 URL | 
					 | 
				
				
					| 메뉴얼 URL | 
					 | 
				
				
					| 원문 URL | 
					http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00196 | 
				
				
					| 첨부파일 | 
					 |