| 보유기관명 |
수원대학교 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
|
| 표준분류명 |
|
| 시설장비 설명 |
Si SiO2 ITO등 비금속 소재 박막을 증착분위기 증착속도 증착온도등의 변수에 따라 증착하는 RF 전용 박막증착 장비이다.Source : RF 0.6kW (1 set) Main pressure : 7 ×10-7 torr Process pressure : 3×10-3 torr Target size : 3 Deposition temperature : 400 ℃ max. rate : 3Å/sec Chamber : Main & Loadlock Control type : Auto/PC Programmable Substrate : Max. 6 (from piece) |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/1153918803_1.jpg |
| 장비위치주소 |
경기 화성시 봉담읍 와우리 수원대학교 산2-2번지 수원대학교 고운첨단과학기술연구원 6층 604호 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2007-10-019299 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0003895 |
| 첨부파일 |
|
