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장비
장비 및 시설 기본정보
원자 주사 현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 파크시스템스 |
| 모델명 | XE-100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-06-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A208 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 미세한 탐침을 시료표면 가까이 가져갔을 때 생기는 원자간의 상호 작용력을 이용하여 표면의 topography와 morphology를 측정하고, 3차원적 이미지를 제공하는 장치이며 원자 지름의 수 십분의 일(0.01nm)까지 측정해 낼수 있고 일반 대기 중에서서 시료표면의 전처리 과정없이, 즉 도체, 반도체, 및 부도체에 상관없이 3차원 형상을 측정함로써 폭, 높이, 각도, 거칠기 등 3차원적 정보를 얻을 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/20150106173313766.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 응용공학동(W1-1) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-01-195418 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0048100 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |