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패릴린 코팅 시스템

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보유기관명	기초과학연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B0
표준분류명
시설장비 설명	○ 정밀 기판을 위한 보호막 제작/ 기판의 계면성질 제어/ 필름 기반 미세구조 제작 - 패릴린은 화학적/생물학적으로 불활성 하기에, 다양한 기판 및 미세 디바이스를 물을 비롯한 생/화학물질로부터 보호 - 패릴린을 다공성을 가진 미체유체채널에 코팅하여, 물질의 흡착이나 시료의 증발 방지 - 패릴린은 증착/에칭으로 미세구조 제작이 가능하면서, 표면처리 등을 통해 세포용 미세유체 디바이스 구현 가능 - 방향족 탄화수소로 구성된 패릴린은 접촉하는 물질과 비공유성 상호작용을 하여 (예: 소수성 및 π π 스태킹), 접촉물질의 배향을 제어하는 배향막으로 사용 - 높은 절연성을 활용한 부도체층으로 활용
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201608/20160817163314.jpg
장비위치주소	기초과학연구원 울산과학기술대학교
NFEC 등록번호	NFEC-2016-08-211377
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0061914
첨부파일